1. বিশুদ্ধতা
টাইটানিয়াম টার্গেটের বিশুদ্ধতা স্পাটারড ফিল্মগুলির বৈশিষ্ট্যগুলিতে একটি দুর্দান্ত প্রভাব ফেলে। টার্গেটের বিশুদ্ধতা যত বেশি হবে, ছিটকে পড়া ফিল্মের অপরিষ্কার উপাদান কণা তত কম হবে এবং ফিল্ম পারফরম্যান্স (যেমন জারা প্রতিরোধ, অপটিক্যাল এবং বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য) তত ভালো হবে। ব্যবহারিক অ্যাপ্লিকেশনে, বিভিন্ন উদ্দেশ্যে টাইটানিয়াম লক্ষ্যগুলির বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা ভিন্ন। . উদাহরণস্বরূপ, সাধারণ আলংকারিক আবরণগুলির জন্য লক্ষ্যগুলির বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তাগুলি দাবি করা হয় না, যখন সমন্বিত সার্কিট, ডিসপ্লে বডি এবং অন্যান্য ক্ষেত্রের লক্ষ্যগুলির বিশুদ্ধতার জন্য অনেক বেশি প্রয়োজনীয়তা রয়েছে, সাধারণত প্রায় 99.999 শতাংশ বা তার বেশি।
2. গড় শস্য আকার
সাধারণত টাইটানিয়াম লক্ষ্যের একটি পলিক্রিস্টালাইন কাঠামো থাকে এবং শস্যের আকার মাইক্রোন থেকে মিলিমিটার পর্যন্ত হতে পারে। সূক্ষ্ম আকারের শস্য লক্ষ্যমাত্রার স্পুটারিং হার মোটা-দানা লক্ষ্যমাত্রার চেয়ে দ্রুত। স্প্রে জমা ফিল্মের পুরুত্ব বন্টন তুলনামূলকভাবে অভিন্ন। সমন্বিত সার্কিটগুলির জন্য টাইটানিয়াম লক্ষ্যগুলির গড় শস্যের আকার সাধারণত 30 μm এর মধ্যে হওয়া প্রয়োজন এবং অতি সূক্ষ্ম-দানাযুক্ত টাইটানিয়াম লক্ষ্যগুলির গড় শস্যের আকার 10 μm এর নীচে।
3. ক্রিস্টাল অভিযোজন
টাইটানিয়ামের একটি ক্লোজ-প্যাকড ষড়ভুজ কাঠামো রয়েছে। স্পুটারিংয়ের সময়, টাইটানিয়াম লক্ষ্য পরমাণুগুলি সহজেই পরমাণুর ষড়ভুজ বিন্যাসের দিক বরাবর স্পুটার হয়। অতএব, সর্বোচ্চ স্পটারিং রেট অর্জনের জন্য, লক্ষ্যের স্ফটিক কাঠামো পরিবর্তন করে স্পাটারিং রেট বাড়ানো সম্ভব। sputtering হার টাইটানিয়াম টার্গেটের স্ফটিককরণের দিকটিও ছিটকে যাওয়া ফিল্ম স্তরের পুরুত্বের অভিন্নতার উপর একটি দুর্দান্ত প্রভাব ফেলে এবং ফ্ল্যাট ডিসপ্লে এবং আলংকারিক আবরণের ফিল্মের আকার তুলনামূলকভাবে পুরু, তাই সংশ্লিষ্ট টাইটানিয়াম লক্ষ্যের শস্য অভিযোজনের জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলি হল তুলনামূলকভাবে কম
4. জ্যামিতি এবং আকার
এটি প্রধানত প্রক্রিয়াকরণের সঠিকতা এবং প্রক্রিয়াকরণের গুণমানে প্রতিফলিত হয়, যেমন প্রক্রিয়াকরণের আকার, পৃষ্ঠের সমতলতা, রুক্ষতা ইত্যাদি। ছোট বেধ লক্ষ্যের পরিষেবা জীবনকে প্রভাবিত করবে; খুব রুক্ষ সিলিং পৃষ্ঠ এবং সিলিং খাঁজ লক্ষ্য ইনস্টল করার পরে ভ্যাকুয়াম সমস্যা সৃষ্টি করবে; টার্গেটের স্পুটারিং পৃষ্ঠকে রুক্ষ করা লক্ষ্যের পৃষ্ঠকে প্রসারিত টিপসে পূর্ণ করে তুলতে পারে, টিপ প্রভাবের ক্রিয়ায়, এই উত্থাপিত টিপগুলির সম্ভাব্যতা ব্যাপকভাবে বৃদ্ধি পাবে, যার ফলে অস্তরক স্রাব ভেঙে যাবে। যাইহোক, একটি অত্যধিক বড় protrusion sputtering এর গুণমান এবং স্থিতিশীলতার জন্য ক্ষতিকর।
আমাদের কোম্পানি যেমন টাইটানিয়াম খাদ প্রদান করতে পারেনটাইটানিয়াম অ্যালুমিনিয়াম স্পুটার টার্গেটএবংটাইটানিয়াম টাই স্পুটারিং টার্গেট, সেইসাথে বিভিন্ন বিশুদ্ধতা এবং আকৃতির টাইটানিয়াম লক্ষ্যগুলি, এবং কাস্টমাইজড পরিষেবাগুলিও গ্রহণ করে। প্রয়োজন হলে, ইমেল দ্বারা আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন.
