কাঠামোগত দৃষ্টিকোণ থেকে, লক্ষ্য প্রধানত দুটি অংশ নিয়ে গঠিত: "লক্ষ্য খালি" এবং "ব্যাক প্লেট"। লক্ষ্য খালি হল লক্ষ্যবস্তু যা উচ্চ-গতির আয়ন রশ্মি দ্বারা বোমাবাজি করা হয়। এটি স্পুটারিং লক্ষ্যের মূল অংশ এবং এতে উচ্চ-বিশুদ্ধ ধাতু এবং শস্য অভিযোজন নিয়ন্ত্রণ জড়িত। পিছনের প্লেটটি মূলত স্পুটারিং টার্গেট ঠিক করার ভূমিকা পালন করে এবং ঢালাই প্রক্রিয়া জড়িত। বর্তমানে, সাধারণ স্পুটারিং টার্গেট ব্যাকপ্লেট উপকরণগুলির মধ্যে প্রধানত অক্সিজেন-মুক্ত তামা, তামার খাদ, মলিবডেনাম এবং স্টেইনলেস স্টীল টিউব ব্যাকপ্লেট সামগ্রী অন্তর্ভুক্ত।
1. ব্যাকপ্লেট ইনস্টল করার কারণ
টার্গেট অ্যাসেম্বলিটি যৌগিক স্পটারিং কর্মক্ষমতা সহ একটি লক্ষ্য খালি এবং ঢালাই দ্বারা লক্ষ্য খালির সাথে মিলিত একটি ব্যাকপ্লেন দ্বারা গঠিত। স্পুটারিং প্রক্রিয়ায়, লক্ষ্য সমাবেশ একটি কঠোর কাজের পরিবেশে হয়। ব্যাকপ্লেনের এক পাশ দৃঢ়ভাবে শীতল জলের একটি নির্দিষ্ট চাপ দ্বারা ঠান্ডা হয়, অন্যদিকে লক্ষ্যবস্তুর একপাশ উচ্চ-তাপমাত্রার ভ্যাকুয়াম পরিবেশে থাকে, তাই লক্ষ্য সমাবেশের বিপরীত দিকে একটি বিশাল চাপের পার্থক্য তৈরি হয়। এছাড়াও, লক্ষ্যবস্তুর একপাশে উচ্চ ভোল্টেজ বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র এবং শক্তিশালী চৌম্বক ক্ষেত্রের বিভিন্ন কণা দ্বারা বোমাবর্ষণ করা হয় এবং প্রচুর তাপ উৎপন্ন হয়।
এই ধরনের কঠোর পরিবেশে, ফিল্মের মানের স্থিতিশীলতা এবং লক্ষ্য সমাবেশের গুণমান নিশ্চিত করার জন্য, লক্ষ্য বিলেট এবং ব্যাকপ্লেনের গুণমান এবং ঢালাই বন্ধনের হার আরও বেশি চাহিদা হয়ে উঠছে, অন্যথায় নেতৃত্ব দেওয়া সহজ। গরম অবস্থায় টার্গেট অ্যাসেম্বলির বিকৃতি এবং ক্র্যাকিংয়ের জন্য, যা ফিল্মের গুণমানকে প্রভাবিত করে এবং এমনকি স্পুটারিং বেসের ক্ষতি করে।
2. ব্যাকপ্লেন তৈরির জন্য উপকরণ
ব্যাকিং প্লেটটি মূলত স্পটারিং টার্গেট ম্যাটেরিয়াল ঠিক করতে ব্যবহৃত হয় এবং এর ভালো বৈদ্যুতিক এবং তাপ পরিবাহিতা থাকা প্রয়োজন। ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং আবরণ প্রক্রিয়া চলাকালীন, লক্ষ্যটিকে পিছনের দিকে শীতল জলের চাপ এবং সামনের ভ্যাকুয়াম নেতিবাচক চাপ উভয়ই সহ্য করতে হবে। কপার এবং কপার অ্যালয় ব্যাকপ্লেনগুলি প্রায়শই লক্ষ্য বেসবোর্ড হিসাবে বেছে নেওয়া হয় কারণ তাদের নিম্নলিখিত সুবিধা রয়েছে:
(1) উচ্চ তাপ পরিবাহিতা: এটি কার্যকরভাবে ঠাণ্ডা সিস্টেমে sputtering প্রক্রিয়ার সময় লক্ষ্য পৃষ্ঠের উপর উত্পন্ন তাপ পরিচালনা করতে পারে. এটি লক্ষ্যের তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখতে সাহায্য করে এবং অতিরিক্ত গরমের কারণে লক্ষ্য ক্র্যাকিং বা কর্মক্ষমতা হ্রাস রোধ করে।
(2) উচ্চ বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা আছে: এটি স্পুটারিং প্রক্রিয়া চলাকালীন বর্তমান পরিবাহন দক্ষতা উন্নত করতে পারে। এটি লক্ষ্য এবং ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং সিস্টেমের মধ্যে প্রতিরোধের ক্ষতি কমাতে সাহায্য করে, যার ফলে স্পাটারিং দক্ষতা উন্নত হয়।
(3) উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি: স্থিতিশীল সমর্থন প্রদান করতে পারে। এটি নিশ্চিত করতে সাহায্য করে যে স্পটারিং প্রক্রিয়া চলাকালীন কম্পন বা চাপের কারণে লক্ষ্যটি ফাটল না।
(4) ইউনিফর্ম স্পুটারিং: কপার ব্যাকপ্লেট লক্ষ্যের ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ফিল্ড ডিস্ট্রিবিউশনকে উন্নত করতে পারে, যার ফলে আরও ইউনিফর্ম স্পুটারিং অর্জন করা যায় এবং ফিল্মের অভিন্নতা উন্নত করা যায়।
(5) টার্গেটের সার্ভিস লাইফ প্রসারিত করুন: তামা ব্যাকিং প্লেটের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং বৈদ্যুতিক পরিবাহিতার কারণে, লক্ষ্যের অপারেটিং তাপমাত্রা এবং প্রতিরোধের ক্ষতি হ্রাস করা যেতে পারে, যার ফলে লক্ষ্যের পরিধান কমিয়ে দেয় এবং এর প্রসারিত হয়। চাকরি জীবন.
3. ব্যাকপ্লেন বাঁধাই প্রক্রিয়া
(1) আবদ্ধ করার আগে লক্ষ্য এবং পিছনে লক্ষ্য পৃষ্ঠের প্রাক চিকিত্সা;
(2) গরম করার টেবিলে পিছনের লক্ষ্যটি ঠিক করুন, লক্ষ্যটিকে পিছনের প্লেটে রাখুন এবং এটিকে বাঁধাই তাপমাত্রায় গরম করুন;
(3) লক্ষ্য এবং পিছনের লক্ষ্যকে ধাতুযুক্ত করুন এবং তামার পিছনের প্লেটে লক্ষ্যটিকে সোল্ডার করুন;
(4) লক্ষ্য এবং পিছনের লক্ষ্যবস্তু বন্ধন করুন, তামার ব্যাকিং প্লেট থেকে দূরে লক্ষ্যের পৃষ্ঠে একটি কাউন্টারওয়েট রাখুন এবং লক্ষ্যটি ঠান্ডা হওয়ার পরে কাউন্টারওয়েটটি সরিয়ে দিন;
(5) কুলিং পোস্ট-প্রসেসিং।
